氬氣是一種惰性氣體，現在廣泛應用于工業行業，是一種很有用的稀有氣體，氬氣性質非常不生動，它既不能焚燒，也不能助燃，因而穩定性很好，氬氣不會發生化學反應而爆炸，只有可能因為科拉貝隆推導公式的壓強改變而爆炸。氬氣罐很結實，也不會像煤氣罐那樣單片橫飛，ArF是有的，但溫度改變不大，一般情況下，乃至高溫高壓下都沒有問題。
液氬是將高純氬氣壓縮成液態氣，儲存于杜瓦罐中。液氬使用時放出的是氣相的，液氬儲存在杜瓦罐中會有一個自然增壓的過程，當它的壓力過高時杜瓦罐會進行安全泄壓，在這個自然增壓和泄壓的過程中，氬氣很簡單就被釋放了。高純氬氣的國家履行標準是GB/T10624—1995，質量要求到達99.999%以上。
氬氣是采用空氣分離提氬，即將液化的空氣進行精餾,得到粗氬.抽出粗氬,經進一步提純可得到高純氬，高純氬在半導體工業中用作出產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相堆積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣.氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的出產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。
高純度的氧氣，顧名思義就是純度非常高，有99.999%的高純氧氣，還有99.9999%的超高純氧氣， 高純度的氧氣是雜質含量達到了一定標準，主要應用于科研、實驗等領域，高純度的氧氣直接用于醫用是會出現很大的問題的，所以，高純氧氣不等于醫用氧氣。